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万云华锐
详细介绍
超纯氢气发生器
(Ultra-pure Hydrogen Generator, UHG)
PEM 制氢与钯膜纯化高集成设备 — 半导体用科学仪器
产品介绍：
o超纯氢气发生器（UHG系列）主要用于提供99.99999%+级纯度的氢气。利用质子交换膜（PEM）从去离子水中产生氢气，通过特有的钯膜技术将氢气纯化至7N级及以上
o超纯氢气发生器（UHG系列）体积小、响应快，创新的控制系统允许远程遥控，一键启停，方便用户现场管理。用户可以自主掌控用氢成本和用氢气量，按需生产，即产即用
oLEOPURE品牌的UHG系列氢气发生器，为高校和科研院所在采用CVD法制备半导体过程提供经济、安全、稳定、持续、便利的超纯氢气供给方案，可以解决高压氢气瓶供氢的安全隐患问题以及品质不稳定问题
o自主知识产权，民族品牌。科学仪器，国产替代进口
应用场景：
o高校、科研院所和企业研机构，在MOCVD、MPCVD和PECVD制备光伏电池片（如：HJT/TOPCon/BC等）和高端芯片类半导体（如GaAs/InP/GaN/SiC/金刚石等）的研究过程，以及低温质子膜燃料电池的测试过程，提供7N+超纯氢气的安全稳定供给。
产品特点：
o对标Parker、Peak等国际品牌，高起点、高标准；售后服务快速响应、高效解决
o最佳的综合性能：氢气纯度、安全性、可靠性、便利性、经济性
o仅需通电和通水，即可生产99.99999%+超纯氢气，用氢成本远低于瓶装高纯氢
o按需生产，即产即用，最小化氢气储存
o实时泄漏检测及自动关闭功能；启动/关闭时间短，操作简单
o一键启停，便捷的现场管理
o维护简单，仅需定期更换去离子器滤芯
o结构紧凑，运行静音
oPEM电解槽提供三年质保
技术规格：
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技术规格 |
UHG-200 |
UHG-500 |
UHG-1000 |
UHG-2000 |
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最大流量 |
200 ml/min |
500 ml/min |
1000 ml/min |
2000 ml/min |
/ |
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输出压力 |
0.8 MPa （可调） |
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氢气纯度 |
≥ 99.99999% |
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气体出 口 |
1/4” |
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自动补水功能 |
可选 |
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水质要求 |
<0.2μ Siemens/cm 或 >5 MΩ·cm |
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耗水量 |
0.02 L/h |
0.03 L/h |
0.06 L/h |
0.12 L/h |
/ |
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工作温度 |
10℃-35℃ / 50°F-95°F |
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电力需求 |
100-230V 50/60HZ |
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电耗 |
270 W |
360 W |
540 W |
860W |
/ |
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设备尺寸 (宽*深*高) |
435*490*530 mm |
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设备重量 |
40 Kg |
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关键词：
- 发生器
- 氢气
- 设备
- 氢气发生器
- 制氢设备
- 氢能
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